Чистота азоту 99.9995% (5 ppm), м³/год:
0.21
Чистота азоту 99.999% (10ppm), м³/год:
0.28
Чистота азоту 99.99% (100ppm), м³/год:
0.53
Чистота азоту 99.9% (0.1%), м³/год:
0.8
Чистота азоту 99.5% (0.5%), м³/год:
1.08
Чистота азоту 99% (1%), м³/год:
1.22
Чистота азоту 98% (2%), м³/год:
1.55
Чистота азоту 95% (5%), м³/год:
2.2